是集镀膜、等离子体清洗、精密干法刻蚀为一体的轻便型真空镀膜机。基本原理是在特定的真空环境中,带电离子在电磁场的加速下高速轰击电子产品的表面。在扫除表面污染物的同时,带电离子嵌入基体表面,而后通过化学反应形成一层纳米级保护薄膜,均匀包覆在电子产品的表面,赋予基体表面荷叶般疏水疏油的超功能,满足电子产品的防潮、防泼溅的需求。如果导入腔体的工艺气体具有腐蚀性,配合特制的治具,就可以实现精密的刻蚀功能。PUMA机的腔体容量为230升,占地面积大约为:1800mm (L) X 1500mm (D) X 1800mm (H)。
是具备大规模量产能力的大型等离子体强化真空镀膜机。基本原理是将处于气液混合态的前驱体(precursor)导入真空腔体,使之吸附到待镀工件的表面,借助流动和扩散对待镀工件形成均匀的、共形(conformal)的包覆。并通过等离子体(plasma)引发的化学反应,固化成膜。所形成的膜具有强疏水、疏油性,以及一定的阻隔性(barrier),对盐雾也有一定的抵抗作用。Dolphin机的腔体容量为675升,占地面积大约为:2500mm (L) X 1500mm (D) X 1800mm (H)。
是具备大规模量产能力的大型派瑞林真空镀膜机。基本原理是在特定的真空环境中,活性分子在固体基材表面沉积并通过化学反应形成膜,附着在固体基材表面。分子一层一层的沉积,膜一层一层的生长直至形成一层微米级的保护薄膜,均匀包覆在电子产品的表面,将电子产品与水和其它腐蚀性物质彻底隔绝,满足电子产品的防水、防盐、防腐蚀(酸、碱、雾霾等)的需求。Raptor机的腔体容量为810升,占地面积大约为:4500mm (L) X 2200mm (D) X 2100mm (H)。